产品种类 | 实验室 |
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匀胶机..AC200-SE
匀胶机..AC200-SE此款匀胶机共有两种型号:AC200-SE是标准型号,AC200-PE是型号;AC200精密匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备,这是一种程控伺服型精密匀胶机,可以实现价值百万美元设备上才能达到的稳定性和均匀性。这款设备采用了不锈钢外壳,更加耐久和美观;采用了工业级别的200W的伺服电机系统和与track设备相同的设计和程序,使工艺更具有实际应用意义;AC200在同类产品中**的较先达到5000RPM/s的旋转加速度,确保旋转匀胶的稳定性和可重复性。
匀胶机AC200-SE
主要性能指标
1:主机机箱采用不锈钢材料(抗化学腐蚀易清洁)
2:内腔采用易清洁、耐腐蚀的高分子材料(HDPE)
3:旋涂程序:多可存100组程序,每组100步,每个步骤可精确到0.1秒
4:旋涂速度:0-10000rpm
5:旋涂加速度:0-50000rpm/s
6:马达旋涂转速稳定性能误差:<±1rpm(TN-AC200-SE);<±0.1rpm(TN-AC200-PE)
7:转速调节精度及重复性:1rpm(TN-AC200-SE);0.1rpm(TN-AC200-PE)
8:AC200-PE另带真空数字显示、开关压力调节和电子水平显示功能
9:工艺时间设定:0-3000sec/step,时间设置精度:0.1sec
10:支持wafer尺寸:碎片至200mm(8''圆晶)
11:旋涂作业均匀性:<±3%在6英寸范围内(需要去除边缘3毫米测量)
产品特性优点
1:**的内部紧凑设计,缩小了设备的尺寸
2: 采用7英寸触摸屏控制面板,操作更加便捷
3:采用“密闭碗”设计,可以适应各种材料的匀胶工艺。
4:标准配置的转速为10000rpm,可以根据用户需要进行定制
5:采用工业级的伺服电机,电机*的设计可以避免光刻胶等污染物进入电机内部
6:机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢,*生锈,便于清洗。
7:排风和抽气系统位于载片台的底部,利于排风效率和匀胶的均一性
8:透明可视,耐化学腐蚀的密封盖,可以在旋涂作业时隔绝光阻的溢出及有效有毒的气味的散发。